化学气相沉积（CVD）装备是接纳化学气相沉积工艺在衬底外貌天生高纯致密、高性能的涂层薄膜的热工装备。CVD手艺具有沉积速率高、成膜易控制、匀称性和重复性好、台阶笼罩优良、使用规模广、装备简朴等优点，工业领域已普遍应用于SiC、TaC、HfC、PyC等多种薄膜涂层制备。九州酷游凭jie深挚的CVD工艺控制手艺、真空热工手艺、气流温度耦合chang仿真手艺积累，致力于为半导体新质料、新能源光伏等领域开发多种类型的CVD装备。九州酷游开发的先进PyC、SiC、BN、Re等涂层装备，凭jie优异的装备手艺性能和工艺产能优势，获得海内行业主流客户的高度认可，成为行业客户扩产的优选装备。
