化学气相沉积（CVD）手艺是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要手艺。典型的CVD工艺历程是把一种或多种蒸汽源原子或分子引入腔室中，在外部能量作用下发生化学反映并在衬底外貌形成所需薄膜的一种要领。由于CVD手艺具有成膜规模广、重现性好等优点，被普遍用于多种差异形态的成膜。
九州酷游凭jie二十余年的半导体基础产物领域工艺装备研发履历，致力于为集成电路、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏等领域提供种种类型的CVD装备，知足客户的多种制造工艺需求。九州酷游自主开发的卧式PECVD 已乐成进入外洋市。嗉夜氏冉夥圃斐峁┙饩龇桨。而硅外延装备在感应加热高温控制手艺、气流chang、温度chang模拟仿真手艺等方面取得了重大的突破，告竣了优异的外延工艺效果，获得多家海内主流生产线批量采购。面向LED领域介质膜沉积的PECVD装备，凭jie优异的工艺性能和产能优势，已成为LED客户扩产优选装备。面向化合物半导体领域，碳化硅外延装备的各项手艺指标也均已到达行业先进水平，批量机台已在各大主流厂商实现稳固量产。
